該電容式微位移計將新開發的 VE 系列電容式間隙檢測器與 VT 系列傳感器相結合，以高精度無接觸地測量到測量目標（鐵、鋁、銅和各種金屬鍍層等導體）的距離和位移。
傳感器端面與目標表面之間的間隙和位移是從被測物體表面形成的電容器的電容和安裝在其對面的 VE 系列傳感器電極的端面測量得出的。
有兩種型號可供選擇：響應頻率為 4 kHz 的 VT-5210 和高速響應頻率為 10 kHz 的 VT-5220。 它可有效測量和控制旋轉機器（如渦輪機、電動機和壓縮機）的軸向振動和表面跳動，以及硅晶片和硬盤等電導體的翹曲、平面度和厚度。
非接觸式檢測意味著旋轉或振動的物體上沒有負載，無需更改振動模式。 VE 傳感器有 9 種類型，范圍從 20μm ~ 8 mm。