利用微機械加工和半導體制造技術，在單個硅芯片上產生質量和光束，并在光束頂部產生壓敏電阻，從而形成
穩定的結構。 用壓敏電阻構建電橋，由于施加的加速度引起的電阻變化作為電壓信號輸出。